گازات ناخالص (Dopant gases)

گازات ناخالص برای افزودن لایهها (غرس آیونها) به ویفر استفاده میشود تا ویفر جریان برقی را بهتر هدایت نماید. آرسین، دایبوران و فوسفین معمولترین گازات ناخالص مورد استفاده هستند. گاز آرسین از عنصر ارسنیک، دایبوران از بورون و فوسفین از فاسفور به دست میآید.

شکل گاز آنها خطرناکتر از شکل جامد میباشد زیرا میتوانند به آسانی روی بدن نشسته یا داخل بدن شما شوند. گازات آرسین، دایبوران و فوسفین در ظروفی ذخیره میشوند که حاوی اشکال مایع آنها نیز میباشند. درحالی که در معرض قرار گرفتن بیشتر از طریق تنفس بخارات آنها رخ میدهد، نشت (لیکاژ) از یک ظرف میتواند به شکل مایع یا گاز باشد.

کارگرانی که ویفرها را بارگیری و تخلیه میکنند، سلندرهای گاز را تعویض میکنند و ماشینهای غرس آیون را پاک کاری و مراقبت میکنند، میتوانند با گازهای ناخالص در تماس باشند و همینطور سایر کارگران موجود در آن ساحات. ا

گر به طور تصادفی یک مایع ناخالص را ببلعید میتواند در معدۀ شما به شکل گاز آزاد شود و به جهاز هاضمۀ شما آسیب برساند.

چارتها صرفاً شامل یکتعداد از گازات ناخالص موجود میباشند. موجودبه جهت معلومات در رابطه به مواد کیمیاوی مورد استفاده در کارخانۀ شما و نحوۀ یافتن معلومات در مورد سایر تیزابها مراجعه شود. برای یافتن اسمای متبادل تیزابها به فهرست اسمای مواد کیمیاوی درمراجعه صورت گیرد.

برای وقایه یا کاهش معروض شدن:

از سیستم تهویۀ استفاده کنید که دود و بخارات را خارج میسازد و هوای کثیف را با هوای پاک *جایگزین یا رقیق مینماید (مراجعه شود به فصل :17 تهویه).
تجهیزات محصور شده که از راه دور کنترول شوند، معروض شدن کارگران را درجایی که احتمال وقوع حادثه است، کاهش میدهد.
از تجهیزات حفاظتی مانند عینکهای محافظه کننده از مواد کیمیاوی، دستکش، پیشبند محافظه کننده از مواد پاشیده شده و ماسک تنفسی بخصوص زمانی که در تماس مستقیم با سلندرهای گاز و قطعات دستگاه غرس آیون مانند پمپ تولید خلاء و نیز منابع آیونها هستید، استفاده کنید (مراجعه شود به فصل :18 تجهیزات حفاظت شخصی).
یک پلان عاجل برای نشت، پاشیده شدن و حوادث معروض شدن تصادفی را داشته باشد. این برنامه باید شامل کمکهای اولیۀ درمانی و تجهیزات حفاظتی باشد. لوازم مورد نیاز عاجل در محل کار به خوبی ذخیره گردند و در دسترس کارگران قرار داده شوند.
همه گازات ناخالص به شدت قابل اشتعال هستند و میتوانند منفجر شوند. ساحات کاری که این مواد در آنها، ذخیره و استفاده میشوند باید سرد نگه داشته شوند و هوا باید مونیتور شود. این ساحات همچنین باید دارای زنگ خطر ، کپسولهای آتش نشانی و پلان عاجل باشند (مراجعه شود به فصل :11 حریق).

گازات ناخالص
	'آرسین (arsenic hydride, hydrogen arsenide)	CAS No. 7784-42-1
	'فدایبوران (boroethane, boron hydride, diboron hexahydride)	CAS No. 19287-45-7
	فوسفین (hydrogen phosphide, phosphorus hydride)	CAS No. 7803-51-2
آنها چی هستند؟ گازات ناخالص گازات بدن رنگ میباشند. آرسین و فوسفین دارای بوی نامطبوع مثل سیر یا یک گاز یا ماهی فاسد شده میباشند. دایبوران بوی شیرین نامطبوع دارد. اگر بوی آنها را استشمام میکنید، پس شما معروض به مقادیری از آنها هستید که میتوانند به شما آسیب برسانند
آیا شما با آنها کار میکنید؟ گازات ناخالص (دوپانتها) در صنایع الکترونیک در فرایندی به نام "غرس نمودن آیون" برای ساختن ویفرهایی که بتوانند برق را بهتر هدایت نمایند به کار برده میشوند.
وقتی با بدن شما به تماس آیند جلد میتوانند باعث تخریش جلد شما شوند. اینها به شکل گاز برای جلدی سمی نیستند، اما شکل مایع آنها با جلد به تماس شود ممکن است میتواند سریعاً جلد را بسوزاند هرچند جلد سرد و کرخت احساس میشود. به سرعت آن را همانند سوختگیهای ناشی از مواد کیمیاوی تداوی نمایید (کمکهای اولیه را در ببینید) چشمها بخارات آنها ممکن است باعث تخریش چشمها شود. شکل مایع آن سبب سوختگی شدید چشمها میشود.ه کمکهای اولیه دراجعه کنید. بینی و ریهها بخارات آنها میتواند بینی، گلو و ریههای شما را تخریش کرده و باعث سرفه و صدادار شدن تنفس (wheezing) شود. تنفس این گازات میتواند باعث آن گردد که احساس ضعف، گنسیت، گیچی، نفس کوتاهی و از خود رفته فکر کنید. بعضی علایم مشابه "تب بخارات فلزی یا (metal fume fever) میباشد که احساسی مشابه انفلوانزا با علایم سردردی، تب و لرزه، درد اعضاء، گرفتگی صدری و سرفه خواهید داشت. معروض شدن بیشتر همچنان میتواند باعث افزایش تجمع مایعات در ریهها شود که آن را اذیمای ریه میگویند کم. کهای اولیه را درببینید. دهن و شکم در صورت بلعیده شدن شکل مایع، در معده گازات آزاد میشود و باعث تخریبات جهاز هضمی شده و علایمی مانند درد بطنی، دلبدی، استفراغ و اسهال را بوجود میآورد. کمکهای اولیه را درببینید و کمک طبی بگیرید.
هرگاه برای مدت طولانی معروض باشید همه گازات ناخالص میتوانند به کبد، کلیهها و سیستم عصبی آسیب رسانیده و باعث ضعیفی، گرفتگی عضلات و ضعف هماهنگی در دستها و پاها شوند. آرسین کریوات سرخ خون را تخریب میکند (هیمولایزس)، که باعث کمخونی میشود. تداوم تنفس آرسین تعداد بیشتر حجرات سرخ خون را تخریب میکند که در نتیجه سبب عدم کفایه کلیه میگردد. زرد شدن جلد و چشمها از علایم خطر اند که باید عاجل کمک طبی بگیرید. آرسین ممکن است سبب سرطان در جلد، کبد، کلیه، شش و مثانه شود دایبوران میتواند به ریهها آسیب رسانیده و سبب برانشیت مزمن و مشکلات تنفسی شود. فوسفین میتواند به ریهها آسیب وارد نموده و باعث برانشیت مزمن و مشکلات تنفسی شود. مقادیر بلند فوسفین در یکبار میتواند باعث عدم کفایۀ قلب و کلیه گردد. زرد شدن جلد و چشمها از علایم خطر هستند و شما باید عاجل کمک طبی جستجو کنید
اگر در خطر معروض شدن هستید از دستکشهای نیوپرن و نیتریل هردو استفاده کنید و همچنان از پیش بند و محافظ چشم در زمان تبدیل نمودن پمپ خلاء ذخایر روغن و گاز استفاده نمایید. (راجعه شود به فصل :18 تجهیزات محافظت شخصی). این وسیله باید بعد از استفاده خوب پاک شده ویا دور انداخته شود. اگر منبع آیون را پاک میکنید، پمپ خلاء را تعویض میکنید ویا سایر فعالیتهای حفظ و مراقبت را روی ماشین انجام میدهید ویا اگر ذخیرۀ گاز را تعویض میکنید از ماسک تنفسی-دارای ذخیرۀ هوا استفاده کنید (مراجعه شود به ماسک تنفسی.)
جایگزینهای ایمنتر: مونوایتیل آرسین جایگزین ایمنتری برای آرسین است